使用膜厚監控編輯1.打開總電源，打開氬氣開關（兩成保持在0.035Mpa左右，濺射時也要注意氬氣的流量）。2.按主機背面的開關按鈕，進入開機界面，根據提示進行下面一系列的操作。3.接下來儀器就開始自動洗靶，自動濺射，濺射結束后要稍等片刻，然后按stop放氣。待放氣操作完成后，開蓋，取出樣品。4.Target B type操作同上。不使用膜厚監控編輯1.其余操作步驟同上，但要根據自己的需要設置濺射電流和濺射時間（最長時間是4min），和循環次數（最多循環9次），按上下鍵設置時間。2.接下來儀器就開始自動洗靶，自動濺射，濺射結束后要稍等片刻，…詳情 >
